安全柜

最大扫描体量：440cm×300cm×300cm

机械规格

7维，大部分采用气浮轴承，闭环控制精度0.1μm

可测样品重量达 100kg

高稳定花岗岩底座

X射线源

开放型或封闭型微焦点射线管

230kV微焦点射线管/160kV亚微米级射线管

可提供多种靶材和灯丝类型

分辨率可达0.25μm

成像系统

多个成像系统

超高灵敏度、超高分辨率CCD传感器