产品介绍
Product introduction
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PX系列 超短脉冲Innoslab激光器
产品简介：PX-系列是基于INNOSLAB激光技术的皮秒振荡放大系统。
主要特点：
l 光束质量： M² < 1.5
l 脉冲能量达 1000µJ
l 脉宽 10ps
l 峰值功率达 100MW
l 脉冲重复频率达 20MHz
l 平均功率达 400W
l 波长 1064、 532、 355、266nm
主要应用：
l 光伏产业，如:硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
l 印刷工业，如: 印刷轮雕版
l 显示领域，如: 构造导电层，横向连续硅结晶
l 电子行业，如: 印刷电路板的钻孔和切割
l 汽车行业，如: 燃油喷射阀门的制造
l 工具制造和机械工程，如: 三维快速成型
参数指标
指标 | PXxxx-1 | PXxxx-2 | PXxxx-3 | PXxxx-4 |
波长[nm] | 1064 | 532 | 355 | 266 |
光束质量 M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
最大平均功率[W] | 400 | 200 | 90 | 20 |
最高重频[MHz] | 20 | 20 | 20 | 20 |
最大单脉冲能量[uJ] | 1000 | 600 | 300 | 200 |
最小脉宽[ps] | 10 | 10 | 10 | 10 |
能量稳定性[%]rms | 1 | 2 | 2 | 3 |
定时抖动[ns] | 50 | 50 | 50 | 50 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑椭圆率(远场)[%] | <10 | <10 | <10 | <10 |
出口处光斑直径[mm] | 3 | 3 | 3 | 3 |
发散角[urad] | 500 | 250 | 226 | 226 |
指向稳定性[urad] | <100 | <100 | <100 | <100 |
从冷启动暖机时间[min] | 15 | 20 | 30 | 30 |
从待机状态的暖机时间[min] | 8 | 15 | 30 | 30 |